項目背景图 某中小型半导加工公司企业公司在长江三角洲形省市，主要的种植制造晶圆和电源芯片。在种植制造步骤中，晶圆锯开和磨光时期发生过多考虑液工业废水，单日废气量约50吨。因工业废一般的水都含带高浓硫酸浓度浮悬物、不锈钢阴阳离子及可挥发增添剂，单独废气会对生态构成嚴重影响，公司企业公司紧缺建筑行业治理 配制。 生产废水的成分及来自 研磨设备液废液一般由来于晶圆加工厂中的化学物质机制抛光剂（CMP）生产工艺，一般污染源物例如： 浮悬颗粒状物 ：二钝化硅、钝化铝等研磨机科粒，孔径在0.1-1μm，含量可以达到2000mg/L。 五金化合物 ：铜、铁、锌等，位于增加光泽垫轮胎磨损及晶圆接触面合金金属层，铜阴阳离子氧化还原电位约50mg/L。 生物碳使用剂 ：其中包括从表面几丁质酶剂、阻垢剂等，COD值在800-1200mg/L。 酸碱度性物 ：pH值振幅大，一般说来在2-11直接。 治理 加工具体步骤 造成废水处置方法性质，选用“预处置+生物化学+纵深处置”女子组合生产技术： 缓解池 ：均衡性饮用水质出水量，放入碱酸缓解pH至弱酸性。 沥青混凝土沉淀出的 ：污泥脱水PAC（汇聚氯化铝）和PAM（聚炳烯酰胺），除掉飘浮物和溶液，沉降后SS除掉率>90%。 催化反应空气氧化 ：应用Fenton实验试剂（H₂O₂+Fe²⁺）挥发充分增加剂，COD去掉率达60%。 海洋生物整理 ：MBR膜生物技术反應器进的一步化学降解超过生产物，COD高于100mg/L如下。 阳离子互转 ：特用树酯降解铜阴阳离子，喷水铜含铁<0.5mg/L。 砂滤+渗透性炭过滤系统 ：提高认识有水出清澈见底，做到《污水处理融合排放物标淮规定》（GB8978-1996）五级标淮规定。 决定成效 操作系统自动运行比较稳定后： SS<10mg/L，COD<60mg/L，铜亚铁离子<0.3mg/L。 回收率达40%，累计未达到环保标准标准，年可以减少焦化废水释放标准1.10万吨。 加工代价约15元/吨，远如果低于制造业最低值。