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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆工作线整套搭配的超纯净水系统的,没天所产生含硅焦化废水150吨。焦化废水里面虽无高价属,但硅含量的高易积垢,且内阻率需达标18MΩ·cm才可工业化的废水正确处理。和原有正确处理工学艺无非符合新出台的《光学工业化的水环境破坏物排污标准化》(GB39731-2020)有点排污规定值。 废污水因素显著特点 重点污染破坏物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、粉末硅(孔径0.1-1μm) 专项 追求 :TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L 环境质量性能 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机物底部形态繁复 治理生产工艺程序 创新性应用"梯级膜分离法+电去阳离子"组合名字鑫霖环保: 微滤预处里 :1μm陶瓷厂家膜拦阻大颗粒肥料硅,通量维护80LMH 铝离子互转硅橡胶 :D201大孔硅胶粘合剂选用性吸收硅酸氧分子 特殊RO系統 :第一次段回收分类处理率60%,2.段适用高脱硼膜pcb板 EDI电去正离子 :瞬时电流密度单位2A/m²,维持弄掉稳定度铁离子 分光光度计杀菌消毒 :254nmUV太阳极为线的用药量40mJ/cm² 技術优点 开拓专用工具阻硅剂(有机会胺类复合材料物),延长时间膜生态破坏阶段3倍 EDI模组多元化流道规划,硅剔除率上升至99.8% 优酷云硅阐述仪(侧量面积0.1-500μg/L)建立精准性的调控 运作成效明显 经承包方查重: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L调至0.3μg/L 软件回收处理率从原40%提高了至68% 膜替换期延迟至5年,年运转资金有效降低35%

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