成都某半导体行业心片设备厂厂，晶圆加工制作历程中生产含硅、氟的特俗生活污水，设计的治理 整体规模1200吨/日。生活污水化学成分繁杂，富含納米级硅颗粒肥料及盐酸，经典治理 工艺不易于标准。 废水处理方法材质及主要来源 主要的破坏物 ：悬浊液硅（100-500nm粒级）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原工艺 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP生物自动化设施设备抛光剂污水（40%）、设施设备冲刷水（15%） 治疗制作工艺步骤 什么是创新主要包括"普通机械乳浊液+特种车辆膜溶合"技术工艺规划： 钙盐积累 ：污泥脱水氯化钙彻底清除氟铝离子（转成CaF2沉定） 二沉池反应迟钝 ：符合二沉池剂保证 电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜截流微细颗粒剂 反浸入软件系统 ：脱盐率>98%，收废率75% 多效蒸发结晶体 ：浓水段保持氟化物零产生 最终能够疗效 氟化物浓度值：<8mg/L（超过國家五级规格10mg/L） 硅含氧量：<5mg/L 有限水源量回收利用率：70%代替散热塔保湿补水 危废处理减轻：多效蒸发杂质量较传统艺术工艺设备才能减少60%